| Ф124mm口径碳化硅质非球面镜面数控研抛技术研究 |
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| 引用本文： | 牛海燕 张学军. Ф124mm口径碳化硅质非球面镜面数控研抛技术研究[J]. 光学精密工程, 2006, 14(4): 539-544 |
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| 作者姓名： | 牛海燕 张学军 |
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| 作者单位： | [1]中国科学院长春光学精密机械与物理研究所光学技术研究中心,吉林长春130033 [2]中国科学院研究生院,北京100039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助（No.60178037）. |
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| 摘 要： | 介绍了碳化硅质光学镜面的光学加工流程和加工手段，分析了碳化硅光学镜面的光学加工过程各个步骤中所应用的磨料和加工方法。利用自主研制的非球面数控加工中心，探索一种新型轮式研磨抛光技术，解决了中小口径非球面元件的数控加工问题，形成比较规范的中小口径碳化硅非球面元件加工方法，并应用到Ф124mm口径两面均为非球面的碳化硅元件的加工中，工件最终加工精度为第一面：0．761λ（PV）、0．059λ（RMS）（λ=0．6328μm）；第二面：0．834λ（PV）、0．089λ（RMS）（λ=0．6328μm），满足了设计要求。
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| 关 键 词： | 反应烧结碳化硅 非球面抛光 数控技术 面形精度 |
| 文章编号： | 1004-924X(2006)04-0539-06 |
| 收稿时间： | 2005-09-22 |
| 修稿时间： | 2006-06-18 |
Research on computer controlled polishing technology of φ124 mm aspheric reaction-burned silicon carbide mirror |
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| NIU Hai-yan, ZHANG Xue-jun. Research on computer controlled polishing technology of φ124 mm aspheric reaction-burned silicon carbide mirror[J]. Optics and Precision Engineering, 2006, 14(4): 539-544 |
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| Authors: | NIU Hai-yan ZHANG Xue-jun |
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| Affiliation: | 1. Optical Technology Research Center, Changchun Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, 2. Graduate School of the Chinese Academy of Sciences, Institute of Optics, Changchun 130033, China; Beijing 100039,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | RB-SiC aspheric surface polishing digital controlling technology surface figure |
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