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金属硅化物的应用与发展
作者姓名:马勤 康沫狂
作者单位:甘肃工业大学,西北工业大学
摘    要:回顾了金属硅化物在电热元件、高温抗氧化涂层以及集成电路电极薄膜等功能元器件方面的应用、存在的问题和改进的措施,并介绍了高温结构材料的应用研究现状和发展趋势

关 键 词:金属硅化物  合金化  复合材料  应用
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