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用PECVD法沉积a—C：H薄膜的研究

引用本文：	顾书林,程光熙.用PECVD法沉积a—C：H薄膜的研究[J].固体电子学研究与进展,1992,12(1):58-64.

作者姓名：	顾书林程光熙

摘要：
关键词：	非晶碳膜金刚石沉积 PECVD法
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