| 一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器 |
| |
| 引用本文： | 徐敬波,赵玉龙,蒋庄德,孙剑.一种集成三轴加速度、压力、温度的硅微传感器[J].仪器仪表学报,2007,28(8):1393-1398. |
| |
| 作者姓名： | 徐敬波 赵玉龙 蒋庄德 孙剑 |
| |
| 作者单位： | 机械制造系统工程国家重点实验室,西安交通大学精密工程研究所,西安,710049 |
| |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;国家重点基础研究发展计划(973计划);教育部跨世纪优秀人才培养计划 |
| |
| 摘 要： | 针对恶劣环境和严格空间体积限制条件下的多参数测量问题,利用绝缘体上硅（SOI）材料,采用微型机械电子系统（MEMS）技术,研制了一种可以同时测量三轴加速度、绝对压力、温度参数的单片集成硅微传感器,其中加速度、绝对压力传感器基于掺杂硅压阻效应,温度传感器基于掺杂硅电阻温度效应.结合芯片中各传感器的工作原理,用有限元方法对设计的结构进行了仿真,确定集成传感器的电阻分布和结构参数.根据确定的集成传感器结构,制定了相应的制备工艺步骤.最后给出了集成传感器芯片的性能测试结果.
|
| 关 键 词： | 集成传感器 |
| 修稿时间： | 2006-09-01 |
Monolithic silicon multi-sensor for three-axis accelerometer pressure and temperature |
| |
| Xu Jingbo,Zhao Yulong,Jiang Zhuangde,Sun Jian.Monolithic silicon multi-sensor for three-axis accelerometer pressure and temperature[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2007,28(8):1393-1398. |
| |
| Authors: | Xu Jingbo Zhao Yulong Jiang Zhuangde Sun Jian |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | SOI MEMS |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
