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| 一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法 | |
| 引用本文： | 李洪波,赵学增,肖增文,褚巍,王凌. 一种基于图像处理的半导体刻线边缘粗糙度的确定方法[J]. 计量技术, 2004, 22(9): 3-5 |
| 作者姓名： | 李洪波 赵学增 肖增文 褚巍 王凌 |
| 作者单位： | 哈尔滨工业大学,机电学院,哈尔滨,150001 |
| 摘 要： | 随着半导体技术的不断发展 ,半导体刻线临界尺寸不断降低 ,线边缘粗糙度对元件性能的影响越来越大。本文综合运用图像处理中的直方图图像描述、阈值化描述以及Sobel算子提取半导体刻线的边缘 ,并根据边缘计算了粗糙度。最后给出了一个样本的实际测量结果并加以分析 ,结果表明这一方法可以用来测量和分析临界尺寸刻线边缘粗糙度 |
| 关 键 词： | 线宽 边缘提取 线边缘粗糙度 曲线拟合 |
A Measurement Method of Critical-dimensions Line-edge-roughness Based on Image Processing |
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