| 一种新型金属封装的光纤法珀温度传感器 |
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| 引用本文： | 张文涛,戴静云,孙宝臣.一种新型金属封装的光纤法珀温度传感器[J].微纳电子技术,2007,44(7):207-209. |
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| 作者姓名： | 张文涛 戴静云 孙宝臣 |
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| 作者单位： | 1. 河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室,石家庄,050043;中国科学院,半导体研究所,集成光电子学国家重点实验室,北京,100083
2. 河北省大型结构健康诊断与控制重点实验室,石家庄,050043 |
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| 摘 要： | 设计制作了一种金属封装的光纤法珀温度传感器，该传感器采用不锈钢毛细金属管代替传统的空心光纤对光纤法珀腔进行封装，毛细金属管在作为法珀腔腔体的同时也是温度敏感元件。采用该结构简化了光纤法珀温度传感器的封装工艺，理论分析和实验的结果表明，该金属封装结构使得传感器的灵敏度易于控制，对于腔长为10mm的温度传感器其精度达到±0.5℃。
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| 关 键 词： | 光纤 法珀 温度传感器 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0207-03 |
| 修稿时间： | 2007-05-29 |
Novel Fiber Optic Fabry-Perot Temperature Sensor Based on Steel Capillary Encapsulation |
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| ZHANG Wen-tao,DAI Jing-yun,SUN Bao-chen.Novel Fiber Optic Fabry-Perot Temperature Sensor Based on Steel Capillary Encapsulation[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):207-209. |
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| Authors: | ZHANG Wen-tao DAI Jing-yun SUN Bao-chen |
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| Affiliation: | 1. Key Lab of Structure Health Monitoring and Control of Hebei Province, Shijiazhuang 050043, China; 2. State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics , Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences, Beij ing 100083, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | fiber optic Fabry-Perot temperature sensor |
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