| 基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究 |
| |
| 引用本文： | 尹作海,刘世元,史铁林.基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统的研究[J].半导体技术,2007,32(1):74-76. |
| |
| 作者姓名： | 尹作海 刘世元 史铁林 |
| |
| 作者单位： | 华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉国家光电试验室,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉国家光电试验室,武汉,430074;华中科技大学,机械科学与工程学院,武汉国家光电试验室,武汉,430074 |
| |
| 摘 要： | 介绍了一种基于线阵CCD的光刻机调焦调平系统,讨论了其检测和控制原理.介绍了调焦调平系统的光学结构,并建立起了理想的单点高度测量与整场调焦调平的算法模型.
|
| 关 键 词： | 线阵电荷耦合器件 调焦调平传感器 步进重复投影光刻机 |
| 文章编号： | 1003-353X(2007)01-0074-03 |
| 修稿时间： | 2006-07-18 |
Research on Focus and Level System for Stepper Based on Linear Array CCD |
| |
| YIN Zuo-hai,LIU Shi-yuan,SHI Tie-lin.Research on Focus and Level System for Stepper Based on Linear Array CCD[J].Semiconductor Technology,2007,32(1):74-76. |
| |
| Authors: | YIN Zuo-hai LIU Shi-yuan SHI Tie-lin |
| |
| Abstract: | A focus and level system of stepper based on linear array CCD was introduced,its testing and controlling principles were discussed.The optical structure of focus and level system was introduced,and a mathematical model for single-point measurements of height and focusing and leveling was set up. |
| |
| Keywords: | linear array CCD focus and level sensor stepper |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
