| MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究 |
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| 引用本文： | 杨江涛,马喜宏,邬琦.MEMS微加速度计在振动环境下的可靠性研究[J].电子器件,2015,38(2):396-401. |
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| 作者姓名： | 杨江涛 马喜宏 邬琦 |
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| 作者单位： | 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室，太原030051; 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室，太原030051
2. 中北大学计算机与控制工程学院,太原,030051 |
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| 摘 要： | 由于微加速度计的可靠性成为其产品商业化过程中的一个重要问题,而冲击断裂是导致其性能失效的主要原因。主要研究了压阻式微加速度计在振动环境下的可靠性问题。设计了微加速度计在振动环境下的可靠性试验并通过ANSYS进行仿真。经过分析得出微加速度计在振动环境下的主要失效模式,并进行了相应的失效机理分析。通过可靠性实验进行了验证,对微加速度计在振动环境下的可靠性进行评估,并描绘了其可靠度与失效概率曲线。
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| 关 键 词： | MEMS微加速度计 失效模式 可靠性 ANSYS仿真 |
Reliability Considerations and Experiments of MEMS Micro-Accelerometer under the vibration environment |
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| YANG Jiangtao,MA Xihong,WU Qi.Reliability Considerations and Experiments of MEMS Micro-Accelerometer under the vibration environment[J].Journal of Electron Devices,2015,38(2):396-401. |
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| Authors: | YANG Jiangtao MA Xihong WU Qi |
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| Affiliation: | YANG Jiangtao;MA Xihong;WU Qi;Science and Technology on Electronic Test and Measurement Laboratory,North University of China;Key Laboratory of Instrumentation Science and Dynamic Measurement of Ministry of Education,North University of China;School of Computer Science and Control Engineering,North University of China; |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS micro-accelerometer failure modes reliability ANSYS simulate |
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