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| TEM原位光电双功能样品杆改造及电源系统优化设计 | |
| 引用本文： | 张师斌,杨 力,韩海霞,董 辉,徐 峰.TEM原位光电双功能样品杆改造及电源系统优化设计[J].电子器件,2015,38(2):231-235. |
| 作者姓名： | 张师斌 杨 力 韩海霞 董 辉 徐 峰 |
| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金项目，中国博士后科学基金项目，中央高校基本科研业务费项目 |
| 摘 要： | 为了研制用于透射电子显微镜(TEM)的光学和电学双功能原位测试样品杆,在理解国外进口电学原位样品杆电路和电极结构的基础上,引入微型LED芯片作为发光源对其进行光电双功能升级改造,并通过优化光电双功能基片供电电源系统以保障TEM清晰成像。测试结果表明,利用自制的基片供电电源,改造后的电学测试样品杆能同时测试样品的光学和电学特性,且透射电子显微镜成像清晰稳定。 |
| 关 键 词： | 透射电子显微镜 原位样品杆 光电双功能基片 基片供电电源 |
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