| MEMS双光纤位移声传感器设计与分析 |
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| 引用本文： | 李晓龙, 王江安, 吴亚明. MEMS双光纤位移声传感器设计与分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2505-2509. |
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| 作者姓名： | 李晓龙 王江安 吴亚明 |
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| 作者单位： | 1.海军工程大学 电子工程学院,湖北 武汉 430033;2.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海 200050 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型强度调制型光纤传感器的理论模型。该模型使用单模光纤,讨论了光在准直透镜中的传播规律,利用光学透镜的准直作用,即矩阵光学原理和高斯耦合理论实现光强调制。强度型光纤传感器采用微电机系统MEMS结构的压力振动膜片拾取振动位移,通过分析施加在膜片上压力的变化及膜片尺寸得到影响双光纤位移传感器灵敏度的相关参数。仿真结果表明：合理的选择参数可以使传感器的灵敏度在不增加结构复杂性的前提下较传统方法有103量级的提高。
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| 关 键 词： | MEMS 调制 传感器 |
| 收稿时间： | 2013-01-05 |
| 修稿时间： | 2013-02-15 |
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