| 介质阻挡放电等离子体中HO2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断 |
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| 引用本文： | 刘忠伟,徐勇,杨学锋,赵国利,王卫国,朱爱民.介质阻挡放电等离子体中HO2自由基的红外光腔衰荡光谱原位诊断[J].真空科学与技术学报,2007,27(6):535-539. |
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| 作者姓名： | 刘忠伟 徐勇 杨学锋 赵国利 王卫国 朱爱民 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连,116024
2. 大连理工大学等离子体物理化学实验室,大连,116024;大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024 |
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| 摘 要： | 建立了一套以可调谐半导体激光器做光源的连续波光腔衰荡光谱装置，简单介绍了连续波光腔衰荡光谱技术与脉冲光腔衰荡光谱技术的区别。将连续波光腔衰荡光谱技术与介质阻挡放电等离子体技术相结合，对等离子体中的HO2自由基进行了原位定量测量，同时考察了HO2自由基数密度随放电电压和体系中氧气含量变化情况。实验结果表明：随着放电电压和体系中氧气含量的增加而增加的HO2自由基数密度分别出现极大值。
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| 关 键 词： | 光腔衰荡光谱(CRDS) 红外光谱 |
| 文章编号： | 1672-7126（2007）06-535-05 |
| 收稿时间： | 2007-02-02 |
| 修稿时间： | 2007年2月2日 |
Cw-Cavity Ring-Down Spectroscopy for in Situ Quantitative Measurements of HO2 Radicals in Dielectric Barrier Discharge Plasmas |
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| Liu Zhongwei,Xu Yong,Yang Xuefeng,Zhao Guoli,Wang Weiguo,Zhu Aimin.Cw-Cavity Ring-Down Spectroscopy for in Situ Quantitative Measurements of HO2 Radicals in Dielectric Barrier Discharge Plasmas[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,2007,27(6):535-539. |
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| Authors: | Liu Zhongwei Xu Yong Yang Xuefeng Zhao Guoli Wang Weiguo Zhu Aimin |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | HO2 |
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