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| SCDI结构快闪存储器件Ⅰ:模拟与分析 | |
| 作者姓名： | 欧文 钱鹤 |
| 作者单位： | 中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划),国家自然科学基金 |
| 摘 要： | 研制成一种台阶沟道直接注入(SCDI)器件,通过在沟道的中间制作一个浅的台阶来改变热载流子的注入方式,从而获得了高的编程速度和注入效率,降低了工作电压.并对SCDI器件结构和常规器件结构进行了模拟分析,提出了改进SCDI器件性能的优化方案. |
| 关 键 词： | SCDI 快闪存储器 编程速度 优化 低电压 |
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