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| 液相电沉积类金刚石薄膜的组成及结构分析 | |
| 引用本文： | 江河清,黄丽娜,张治军,徐洮,刘维民. 液相电沉积类金刚石薄膜的组成及结构分析[J]. 功能材料, 2004, 35(5): 560-562 |
| 作者姓名： | 江河清 黄丽娜 张治军 徐洮 刘维民 |
| 作者单位： | 1. 河南大学,特种功能材料重点实验室,河南,开封,475001 2. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 |
| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2002AA302609) |
| 摘 要： | 利用液相电沉积的方法，从乙腈中在硅片上沉积非晶碳薄膜，首次发现了电流密度随反应时间呈波动变化的规律。红外光谱和拉曼光谱分析表明所得薄膜是一种典型的含氢类金刚石薄膜(a-C：H薄膜)，并用高斯分解的方法对非晶碳薄膜的拉曼光谱和X射线光电子能谱进行定量分析，从而确定这种a-C：H薄膜中sp^3的相对含量为30％～35％。 |
| 关 键 词： | 液相电沉积 a-C：H薄膜 Raman光谱 XPS 高斯分解 |
| 文章编号： | 1001-9731(2004)05-0560-03 |
| 修稿时间： | 2003-10-27 |
The composition and structure of diamond-like carbon films prepared by using the liquid phase electrodeposition technique |
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| JIANG He-qing,HUANG Li-na,ZHANG Zhi-jun,XU Tao,LIU Wei-min. The composition and structure of diamond-like carbon films prepared by using the liquid phase electrodeposition technique[J]. Journal of Functional Materials, 2004, 35(5): 560-562 | |
| Authors: | JIANG He-qing HUANG Li-na ZHANG Zhi-jun XU Tao LIU Wei-min |
| Affiliation: | JIANG He-qing~1,HUANG Li-na~1,ZHANG Zhi-jun~1,XU Tao~2,LIU Wei-min~2 |
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