| 钛泵的原理与故障分析 |
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| 引用本文： | 王维明,王珏.钛泵的原理与故障分析[J].真空,2008,45(2):34-37. |
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| 作者姓名： | 王维明 王珏 |
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| 作者单位： | 东北电子技术研究所,辽宁,锦州,121000 |
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| 摘 要： | 简单介绍了钛泵的工作原理.溅射离子泵在高电压和高磁场的作用下产生潘宁放电,吸附容器内气体分子达到真空的目的.由于设备老化或操作不当等原因,溅射离子泵会发生各种故障.本文列举了溅射离子泵的各种常见故障,根据工作机理分析了溅射离子泵发生故障的原因,并介绍了排除故障和维护保养的方法.对于钛泵的操作使用人员和维修人员具有一定的借鉴意义.
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| 关 键 词： | 钛泵 溅射离子泵 潘宁放电 故障 真空 钛泵 原理 故障分析 pump titanium analysis malfunction principle 意义 维修人员 操作使用 方法 维护保养 排除故障 机理分析 工作 常见故障 发生 操作不当 老化 |
| 文章编号： | 1002-0322(2008)02-0034-04 |
| 修稿时间： | 2007年10月14 |
Operating principle and malfunction analysis of titanium getter pump |
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| WANG Wei-ming,WANG Jue.Operating principle and malfunction analysis of titanium getter pump[J].Vacuum,2008,45(2):34-37. |
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| Authors: | WANG Wei-ming WANG Jue |
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