| 复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究 |
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| 引用本文： | 林小东,宋绪丁,傅高升.复合工艺制备TiAlN薄膜及其高温抗氧化性能研究[J].表面技术,2010,39(6):22-25. |
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| 作者姓名： | 林小东 宋绪丁 傅高升 |
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| 作者单位： | 福建交通职业技术学院,福州,350007;长安大学,工程机械学院,西安710064;福建交通职业技术学院,福州,350007;福州大学,机械工程学院,福州,350001 |
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| 基金项目： | 福建省教育厅A类科技项目基金 |
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| 摘 要： | 采用Ti靶电弧离子镀与Al靶中频磁控溅射相结合的复合工艺,通过调节Al靶电流,在不锈钢基体上制备了TiN薄膜和TiAlN薄膜样品,并在热处理炉内对薄膜进行高温抗氧化试验,分析了薄膜氧化前后的表面形貌、断口形貌及显微硬度.结果表明:TiAlN薄膜氧化前和氧化后的硬度均随着铝靶磁控溅射电流的增强、铝含量的提高而增加;TiAlN薄膜的高温稳定性明显优于TiN薄膜;TiAlN薄膜经800℃氧化后发生膨胀而变得疏松,内部发生了柱状晶化,致密性下降.
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| 关 键 词： | TiAlN薄膜 TiN薄膜 抗高温氧化性能 中频磁控溅射 电弧离子镀 |
| 收稿时间： | 7/6/2010 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2010/12/10 0:00:00 |
Study on TiAlN Films Deposited by Composite Technology and Its Thermal Anti-oxidation Property |
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| LIN Xiao-dong,SONG Xu-ding and FU Gao-sheng.Study on TiAlN Films Deposited by Composite Technology and Its Thermal Anti-oxidation Property[J].Surface Technology,2010,39(6):22-25. |
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| Authors: | LIN Xiao-dong SONG Xu-ding and FU Gao-sheng |
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| Affiliation: | Fujian Communication Technology College, Fujian 35007, China,Construction Machinery School, Chang''an University, Xi''an 710064, China and 1.Fujian Communication Technology College, Fujian 35007, China;2.The college of Mechanical Engineering, Fuzhou University, Fujian 350001, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TiAlN films TiN films thermal anti-oxidation property intermediate frequency unbalanced magnetron sputtering arc ion plating |
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