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| 更小、更轻、更廉价的微机电系统 | |
| 引用本文： | 张纯学,王培.更小、更轻、更廉价的微机电系统[J].飞航导弹,2001(11):55-59. |
| 作者姓名： | 张纯学 王培 |
| 摘 要： | 今后几年 ,微机电系统 (ＭＥＭＳ)在军事设备领域将变得和今天的微处理机一样普通。ＭＥＭＳ是用传统数据处理与控制系统集成最新型的敏感与传动功能的微小尺寸装置。ＭＥＭＳ通常由硅制成 ,多采用由微电子工业开发的部件的装配与封装技术。它之所以具有自己的特点 ,即将机械或结构部件(如带有电子装置的加速度计和微透镜 )和一些电子装置 (如微处理器和射频发射机 )集成在一起 ,也包括流体、光学、电磁和电稳定系统。正如在微电子和通讯领域国防工业能推动商业开发一样 ,民用市场也将从ＭＥＭＳ的应用中获益。对新技术持保守态度的自动化工… |
| 关 键 词： | 微机电系统 军事设备 功能 抗震硅IMU 制约式馈电 微型喷气发动机 |
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