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| 几种制备非晶硅膜的CVD新技术 | |
| 引用本文： | 程开富.几种制备非晶硅膜的CVD新技术[J].电子工业专用设备,1997,26(2):27-32. |
| 作者姓名： | 程开富 |
| 作者单位： | 电子工业部第四十四研究所 |
| 摘 要： | 在介绍光—ＣＶＤ制备非晶硅膜的同时，简要介绍国外近几年报导的电子回旋共振微波等离子体低温ＣＶＤ（简称ＭＰＣＶＤ）、ＣＬＴ—ＣＶＤ、均质ＣＶＤ等技术制备非晶硅膜的状况及设备市场 |
| 关 键 词： | CVD新技术 非晶硅膜 半导体光电器件 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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