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凹槽涂胶的实时光学检测方法研究
引用本文:张威,韩雷,李军辉. 凹槽涂胶的实时光学检测方法研究[J]. 半导体光电, 2014, 35(4): 642-646
作者姓名:张威  韩雷  李军辉
作者单位:中南大学机电工程学院国家高性能复杂制造重点实验室,长沙410083;中南大学机电工程学院国家高性能复杂制造重点实验室,长沙410083;中南大学机电工程学院国家高性能复杂制造重点实验室,长沙410083
基金项目:国家“973”计划项目(2009CB724203);国家重大科技专项(20092X02038 01);国家自然科学基金项目(51275536).
摘    要:
为实现对凹槽涂胶的检测,提出了一种实时光学检测的方法,即使用环形光源照射胶液表面,并用摄像机记录光源在胶液表面产生的畸变的虚像,通过虚像的变化并结合图像处理技术间接检测胶液转移到凹槽后的铺展过程。设计了一个包含运动控制和图像采集的实验装置,研究了胶液铺展过程受涂胶速度和胶液粘度等因素的影响规律。

关 键 词:凹槽  涂胶  光学检测  图像处理
收稿时间:2013-10-17

Real time Optical Detection on Groove Coating
Abstract:
A real-time optical detection method was proposed for groove coating. In this method, a ring light was used to illuminate the glue surface, and a CCD camera was used to capture the distorted virtual image of the light source. Combining the change of virtual image with the image processing technology, the spreading process of glue transferred to groove was obtained indirectly. An experimental apparatus including motion control system and image acquisition and processing system is designed and the rules of the glue solution influenced by the coating viscosity and speed are obtained.
Keywords:groove   coating   optical detection   image processing
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