时栅角位移传感器误差分离与建模方法研究 |
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引用本文: | 高忠华,彭东林,陈锡侯.时栅角位移传感器误差分离与建模方法研究[J].测控技术,2014,33(2):1-3. |
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作者姓名: | 高忠华 彭东林 陈锡侯 |
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作者单位: | 合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院;重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心;合肥工业大学 仪器科学与光电工程学院;重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心;重庆理工大学 机械检测技术与装备教育部工程研究中心 |
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基金项目: | 国家自然科学基金资助项目(51205434;51005263;51275551) |
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摘 要: | 为实现时栅角位移传感器的误差分离,进而对其误差进行修正,提高时栅角位移传感器的测量精度,采用多路信号叠加原理,针对时栅角位移传感器的定子和转子在加工过程中存在的误差进行分离,消除了大部分的长周期误差,并对分离出来的误差成分进行谐波分析,建立误差修正模型,利用该模型对时栅角位移传感器的定子和转子的线槽分度误差进行修正,修正后的场式时栅角位移传感器的测量精度显著提高,精度优于±2"。实验证明,这种误差分离的方法对消除圆周分度误差十分有效,所建立的误差修正模型对传感器误差修正效果明显。
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关 键 词: | 时栅 误差分离 误差模型 误差修正 |
Study on the Method of Error Separation and Modeling for Time Grating Angular Displacement Sensor |
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Abstract: | |
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Keywords: | |
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