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| 注砷硅超固溶度热弛豫特性的沟道研究 | |
| 作者姓名： | 王豫生 阎建华 郑胜男 徐立 钱佩信 |
| 作者单位： | 清华大学原子能研究所(王豫生，阎建华，郑胜男)，清华大学微电子学所(徐立)，清华大学微电子学所(钱佩信) |
| 摘 要： | 红外瞬态退火高剂量注砷硅样品得到的超固溶度(亚稳载流子浓度),再经热处理后能引起弛豫现象.我们用沟道背散射方法测定了在不同后处理条件下的As原子替位率、晶格位置、深度分布以及衬底的损伤.将沟道背散射分析结果与电学测试结果作了比较,从而讨论了可能的失活机理. |
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