| 声表面波NO2传感器的研究进展 |
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| 引用本文： | 秦墨林,潘勇,曹丙庆,赵建军,李冬梅. 声表面波NO2传感器的研究进展[J]. 化学传感器, 2010, 30(2) |
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| 作者姓名： | 秦墨林 潘勇 曹丙庆 赵建军 李冬梅 |
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| 作者单位： | 防化研究院,北京,102205;中国科学院微电子研究所,北京,100029 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划资助项目 |
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| 摘 要： | NO2是一种主要的大气污染物,同时对人体健康也有较大的危害,针对其进行检测的传感器的研究和开发就显得十分重要.声表面波气体传感器具有便携性、快速响应、高灵敏度、高稳定性、低成本等特点,引起了国内外相关研究者的广泛关注.简要介绍了声表面波(SAW)气体传感器工作的基本原理、传感器敏感膜与NO2气体的作用机理以及SAW-NO2气体传感器的两种结构类型,综述了SAW-NO2气体传感器常用的几种敏感膜材料,并对SAW-NO2气体传感器的发展趋势做了展望.
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| 关 键 词： | 声表面波 NO2传感器 延迟线 谐振器 敏感膜 |
Research development of surface acoustic wave sensors for NO2 gas detection |
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| Qin Mo-lin,Pan Yong,Cao Bing-qing,Zhao Jian-jun,Li Dong-mei. Research development of surface acoustic wave sensors for NO2 gas detection[J]. Chemical Sensors, 2010, 30(2) |
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| Authors: | Qin Mo-lin Pan Yong Cao Bing-qing Zhao Jian-jun Li Dong-mei |
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