| 基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器 |
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| 引用本文： | 邹英寅,王跃林.基于表面微机械和压电薄膜技术的新型微谐振器[J].真空科学与技术学报,1994(4). |
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| 作者姓名： | 邹英寅 王跃林 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程学系!杭州310008 |
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| 基金项目： | 国家自然科学青年基金，国家传感技术联合开放实验室资助 |
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| 摘 要： | 一种基于表面微机械和压电薄膜技术的体声波器件新结构，是在多晶硅膜片上演积氧化锌（ZnO）压电薄膜。ZnO膜是在c轴采用S枪磁控反应溅射定向生长，而多晶硅膜片采用表面微机械技术制备。采用平面工艺，对氧化牺牲层化学蚀刻和照像腐蚀，制得表面微结构，其性能与在硅膜片上各向异性的传统制作工艺比较，在制作简易性、生产量和可靠性方面都有重大进展。已制成的微谐振器尺寸为15μm×150μm和250μm×250μm，其谐振频率为559．05MHz。
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| 关 键 词： | 体声波器件 表面微机械 压电薄膜 |
NEW MICRORESONATORS BASED ON SURFACE MICROMACHINE AND PIEZOELECTRIC THIN FILM TECHNOLOGY |
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| Zou Yingyin, Wang Yaolin.NEW MICRORESONATORS BASED ON SURFACE MICROMACHINE AND PIEZOELECTRIC THIN FILM TECHNOLOGY[J].JOurnal of Vacuum Science and Technology,1994(4). |
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| Authors: | Zou Yingyin Wang Yaolin |
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| Affiliation: | Department of Information and Electronics Engineering Zhejiang University Hangzhou |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Bulk acoustic wave devices Surface micromachine Piezoelectric thin film |
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