| 铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究 |
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| 引用本文： | 陈君,杨德仁,阙端麟,M.Kittler.铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究[J].太阳能学报,2003(Z1):48-51. |
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| 作者姓名： | 陈君 杨德仁 阙端麟 M.Kittler |
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| 作者单位： | 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027
2. IHP,Im,Technologiepark 25,15236 Frankfurt(Oder),Germany |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(59976035),教育部优秀青年教师基金和教育部博士点基金资助项目. |
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| 摘 要： | 该文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.
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| 关 键 词： | 铸造多晶硅 铝 EBIC |
| 文章编号： | 0254-0096(2003)增刊-0048-04 |
| 修稿时间： | 2002年8月20日 |
EBIC INVESTIGATION OF AL GETTERING OF CAST-MULTICRYSTALLINE SILICON |
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| M.Kittler.EBIC INVESTIGATION OF AL GETTERING OF CAST-MULTICRYSTALLINE SILICON[J].Acta Energiae Solaris Sinica,2003(Z1):48-51. |
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| Authors: | MKittler |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | EBIC |
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