能谱仪测定钛合金中钛元素含量不确定度评定

能谱仪是一种微区元素种类与含量分析的设备,是材料分析领域最常用的一种定性半定量的分析手段。本文对《GB/T17359-2012微束分析能谱法定量分析》中利用能谱仪对元素含量的测定进行了不确定度评定,考察了不确定度的主要来源并对不确定度各分量进行了评定,计算出合成标准不确定度和扩展不确定度。结果表明:合成标准不确定度为2.79%;取置信概率为95%,即k=2时,相应的扩展不确定度为:5.58%。确定了方法最大允许误差为影响测量不确定度的最主要因素。