| 微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器 |
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| 引用本文： | 王贞福,宁永强,张岩,史晶晶,李特,崔锦江,刘光裕,张星,秦莉,孙艳芳,刘云,王立军.微透镜集成大功率垂直腔面发射激光器[J].中国激光,2009,36(8). |
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| 作者姓名： | 王贞福 宁永强 张岩 史晶晶 李特 崔锦江 刘光裕 张星 秦莉 孙艳芳 刘云 王立军 |
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| 作者单位： | 1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033;中国科学院研究生院,北京,100039
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033 |
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| 摘 要： | 为了改善大功率垂直腔面发射激光器(VCSEL)的模式特性,在GaAs衬底上采用限制扩散湿法刻蚀技术制作出了不同曲率半径的微透镜,与P型和N型分布式布拉格反射镜(DBR)构成复合腔结构,可以对腔内模式进行选择.有源区采用新型的发射波长为980 nm的InGaAs/GaAs应变量子阱,包括9对In0.2Ga0.8As(6 nm)/Ga0.18As.82P(8 nm)量子阱,有源区直径100μm,微透镜直径300 μm,曲率半径959.81μm,表面粗糙度13 nm.室温下,器件连续输出功率大于180 mW,阈值电流200 mA,远场发散角半角宽度分别为7.8°和8.4°,并且与没有微透镜的垂直腔而发射激光器输出特性进行了比较.
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| 关 键 词： | 激光器 垂直腔面发射激光器 微透镜 横模 远场发散角 |
doi:10.3788/CJL20093608.1963High-Power and Microlens-Integrated Vertical Cavity Surface Emitting Lasers |
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| Wang Zhenfu,Ning Yongqiang,Zhang Yan,Shi Jingjing,Li Te,Cui Jinjiang,Liu Guangyu,Zhang Xing,Qin Li,Sun Yanfang,Liu Yun,Wang Lijun.doi:10.3788/CJL20093608.1963High-Power and Microlens-Integrated Vertical Cavity Surface Emitting Lasers[J].Chinese Journal of Lasers,2009,36(8). |
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| Authors: | Wang Zhenfu Ning Yongqiang Zhang Yan Shi Jingjing Li Te Cui Jinjiang Liu Guangyu Zhang Xing Qin Li Sun Yanfang Liu Yun Wang Lijun |
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