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| 低压气相沉积金刚石薄膜研究 | |
| 引用本文： | 霍万库,胡灼源.低压气相沉积金刚石薄膜研究[J].电镀与环保,1994,14(4):23-24. |
| 作者姓名： | 霍万库 胡灼源 |
| 作者单位： | 山东矿业学院，泰安市金属材料表面处理中心筹建处 |
| 摘 要： | 低压气相沉积金刚石薄膜研究霍万库，李惠琪，李惠东（山东矿业学院）胡灼源，傅珍泰，刘福民（泰安市金属材料表面处理中心筹建处）金刚石是碳的一种同素异形体，人们很久以前就试图用石墨来直接制取金刚石。１９５５年，美国通用电器公司在世界上首次用高温高压方法成功... |
| 关 键 词： | 等离子体 喷射 气相沉积 金刚石薄膜 |
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