| TK—65型特种油扩散泵 |
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| 引用本文： | 龚汩清,林曼印.TK—65型特种油扩散泵[J].微细加工技术,1993(1):61-67. |
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| 作者姓名： | 龚汩清 林曼印 |
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| 作者单位： | 电子部第四十八研究所，电子部第四十八研究所，电子部第四十八研究所 长沙 410111，长沙 410111，长沙 410111 |
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| 摘 要： | 本文简要介绍了TK—65型特种油扩散泵的研制背景、指标、结构和特点,着重报导了该泵的测试结果及其分析。
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| 关 键 词： | 彩象显象管 排气 油扩散泵 |
TYPE TK-65 SPECIAL OIL DIFFUSION PUMP |
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| Gong Miqing Lin Manying Yin Qiuqin.TYPE TK-65 SPECIAL OIL DIFFUSION PUMP[J].Microfabrication Technology,1993(1):61-67. |
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| Authors: | Gong Miqing Lin Manying Yin Qiuqin |
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| Abstract: | The developing background, specifications, structures and feastures are briefly introduced. The particular attention is given to the tested results and qualitative analysis of the pump. |
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| Keywords: | diffusion pump structrue pumping speed |
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