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电极的脉冲电子束处理对真空击穿的影响
引用本文:欧阳彬.电极的脉冲电子束处理对真空击穿的影响[J].旭光技术,1996(3):48-51,46.
作者姓名:欧阳彬
摘    要:本文提出了一种用微秒低能强度电子束对电极进行了预处理的方法。它表明,这种电子束能使电极表面熔化并除去表面层的杂质和气体。接着,对真空间隙进行小电流脉冲放电老炼处理,即可获得较高的击穿电场强度。

关 键 词:电极  脉冲电子束处理  真空击穿
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