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电子束处理前后C—SiC涂层的微观分析
引用本文:张海龙 汪德志. 电子束处理前后C—SiC涂层的微观分析[J]. 核技术, 1995, 18(6): 343-347
作者姓名:张海龙 汪德志
作者单位:四川大学原子核科学技术研究所
摘    要:
在不锈钢材料表面,用射频磁控溅射沉积C-SiC,利用XRD、XPS对电子束处理前后的C-SiC涂层进行了微观分析。

关 键 词:第一壁材料 电子束处理 微观分析 碳化硅涂层

Microanalysis of C-SiC coatings before and after electron beam treatment
Zhang Hailong,Wang Dezhi,Huang Ningkang. Microanalysis of C-SiC coatings before and after electron beam treatment[J]. Nuclear Techniques, 1995, 18(6): 343-347
Authors:Zhang Hailong  Wang Dezhi  Huang Ningkang
Abstract:
The r.f.magnetyon spattering deposited C-SiC coatings on stainless steel surface are microanalysed by XRD and XPS before and after electron beam treatment,and the results are disscussed.
Keywords:C-SiC coatings  Electron beam treadment  Microanalysis
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