| 高精度激光直写数字伺服滤波器的设计 |
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| 引用本文： | 杨泽光,吴云峰,叶玉堂. 高精度激光直写数字伺服滤波器的设计[J]. 电子设计工程, 2010, 18(10) |
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| 作者姓名： | 杨泽光 吴云峰 叶玉堂 |
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| 作者单位： | 电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054;电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054 |
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| 摘 要： | 为提高激光直写控制系统的定位精度、定位时间和系统响应度,设计了一种数字伺服滤波器.该滤波器以伺服系统的三环PID控制原理为基础,并在设计中加入了具有实际问题性的前馈补偿模块;建立了以TMS3202812处理器组成的数字伺服滤波器模型;并对该模型进行了模拟仿真分析,然后移植到处理器中;最后通过验证,提高了位置定位和速度稳定精度.实验结果表明,整个系统输入与输出时差小于100 Ls;无噪音无振荡,效果很好;定位精度误差控制±1μm范围内.
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| 关 键 词： | 激光直写 数字伺服滤波器 前馈补偿 伺服三环PID |
Design of digital servo filter for high-precision laser direct writing |
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| YANG Ze-guang,WU Yun-feng,YE Yu-tang. Design of digital servo filter for high-precision laser direct writing[J]. Electronic Design Engineering, 2010, 18(10) |
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| Authors: | YANG Ze-guang WU Yun-feng YE Yu-tang |
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