| 基于双SAW谐振器的温度传感器设计 |
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| 引用本文： | 岳虎虎,彭斌,李凌,王博文,张万.基于双SAW谐振器的温度传感器设计[J].压电与声光,2021,43(1):1-4. |
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| 作者姓名： | 岳虎虎 彭斌 李凌 王博文 张万 |
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| 作者单位： | ;1.电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 为解决声表面波(SAW)谐振器的频率温度特性呈非线性的问题,该文提出了一种利用两个SAW谐振器来设计具有线性输出的SAW温度传感器的方法。根据该方法设计了两个基于硅酸镓镧压电基片的SAW温度传感器,每个传感器由两个不同的SAW谐振器串联而成。实验结果表明,两个SAW传感器在室温～300℃的宽温度范围内均表现出很好的线性度。这种简单有效的设计方法具有实现宽温度范围测试的能力,可推广到其他具有较大二阶温度系数的SAW温度传感器的研发中。
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| 关 键 词： | 声表面波 温度传感器 频率温度系数 线性输出 谐振器 |
Design of Temperature Sensor Based on Double SAW Resonator |
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| YUE Huhu,PENG Bin,LI Ling,WANG Bowen,ZHANG Wanli.Design of Temperature Sensor Based on Double SAW Resonator[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2021,43(1):1-4. |
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| Authors: | YUE Huhu PENG Bin LI Ling WANG Bowen ZHANG Wanli |
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| Affiliation: | (State Key Laboratory of Electronic Thin Films and Integrated Devices, University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | surface acoustic wave temperature sensor frequency temperature coefficient linear output resonator |
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