基于X光图像的芯片在线自适应计数算法研究 |
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引用本文: | 雷臻宇,贺香华,骆佩文,周聪,谢德芳.基于X光图像的芯片在线自适应计数算法研究[J].机电工程技术,2020,49(2):80-84. |
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作者姓名: | 雷臻宇 贺香华 骆佩文 周聪 谢德芳 |
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作者单位: | 广州大学机械与电气工程学院,广州 510006;广州大学机械与电气工程学院,广州 510006;广州大学机械与电气工程学院,广州 510006;广州大学机械与电气工程学院,广州 510006;广州大学机械与电气工程学院,广州 510006 |
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摘 要: | 为提高生产线上芯片计数的自动化程度,提出一种基于X光图像的芯片在线自适应计数算法。对X光拍摄的半导体芯片图像进行预处理,利用自动阈值提炼背景区域;对提炼后的背景区域进行自动阈值提取出芯片区域,通过遍历芯片区域的面积估算单个芯片的面积;设置相应的倍数关系来区分粘连区域和噪声区域,将所有连通区域的个数求和即可得到图像中所有芯片的个数。测试结果表明,自动计数得出的数量偏差率平均为0.03%,耗时平均2.9s 1张,能满足生产线上自动计数的精度高、耗时短等要求。
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关 键 词: | 芯片 自动计数 图像分割 面积特征 参考面积 |
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