| 大功率脉冲激光纳米薄膜制备技术 |
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| 引用本文： | 陈学康. 大功率脉冲激光纳米薄膜制备技术[J]. 真空科学与技术学报, 1995, 0(2) |
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| 作者姓名： | 陈学康 |
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| 作者单位： | 兰州物理研究所!兰州，730000 |
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| 摘 要： | 讨论脉冲激光薄膜沉积技术的基本物理过程、独具的优点及可能的应用，并介绍了一些激光制备薄膜实验的结果。
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| 关 键 词： | 纳米薄膜沉积 激光应用 外延生长 新型材料 |
HIGH POWER PULSED LASER DEPOSITION OF NANOMETER THIN FILMS |
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| Chen Xuekang. HIGH POWER PULSED LASER DEPOSITION OF NANOMETER THIN FILMS[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1995, 0(2) |
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| Authors: | Chen Xuekang |
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| Abstract: | The physical process,unique advantages and promissing applications of pulsed laser deposition (PLD) are discussed in this paper. Thin films of several materials deposited by PLD are briefly described. |
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| Keywords: | Nanometer thin film deposition Laser application Epitaxial growth Novel materials |
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