|
|||||
|
|
| 具有多运动自由度的新型多功能微镜 | |
| 作者姓名： | 余洪斌 陈海清 |
| 作者单位： | 华中科技大学光电子工程系,武汉,430074;华中科技大学光电子工程系,武汉,430074 |
| 摘 要： | 基于多层硅表面微加工技术,设计并制造了一种全新的微镜结构,它由底电极层、支撑层和镜面层构成．支撑层采用对称布置的双T型梁结构,能提供垂直方向的平动和绕两水平轴的转动,从而实现微镜对入射光的强度调制和相位调制功能．测试结果表明,微镜能获得最大2μｍ的平动范围,同时其绕两水平轴的转动角度分别为±2.3°和±1.45°．此外,通过进一步增大牺牲层的厚度,可以很容易地使微镜获得更大的变形范围． |
| 关 键 词： | 微机电系统 微镜 相位调制 强度调制 T型梁 |
| 文章编号： | 0253-4177(2005)04-0816-05 |
| 修稿时间： | 2004-04-20 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |