| 冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制 |
| |
| 引用本文： | 严乐,卢秉恒,丁玉成,刘红忠,李寒松.冷压印光刻工艺精密定位工作台的研制[J].中国机械工程,2004,15(1):75-78. |
| |
| 作者姓名： | 严乐 卢秉恒 丁玉成 刘红忠 李寒松 |
| |
| 作者单位： | 西安交通大学先进制造技术研究所,西安,710049 |
| |
| 基金项目： | 国家863高技术研究发展计划资助项目(2002AA420050 )，国家自然科学基金资助项目 (50275118) |
| |
| 摘 要： | 冷压印光刻工艺是一种将模板图形翻制到硅片上的技术。为了获得高分辨率压印图形，为压印光刻机设计了一个精密定位工作台。精密定位工作台是压印光刻机的关键部件，它既能够保证模板-抗蚀剂-硅片结构间的接触均匀一致，并实现模板与承片台间的三个运动自由度，即沿z轴的直线运动和绕x、y轴的旋转运动(α和β)，又可以实现步进对准所需要的沿x、y轴的直线运动和绕z轴的旋转运动(θ)。设计中采用了柔性机械结构，消除了使用铰链连接所引起的间隙与摩擦等问题。压印实验结果显示定位系统在200mm的行程中，精密定位工作台定位精度达到8nm以内。实现了压印光刻工艺在集成电路制造中的高精度定位要求。
|
| 关 键 词： | 压印光刻 精密定位工作台 柔性结构 精度 |
| 文章编号： | 1004-132X(2004)01-0075-04 |
High-Precision Orientation Stage for Room-Temperature Imprint Lithography |
| |
| Yan Le Lu Binghen Ding Yucheng Liu Hongzhong Li Hansong Xi'an Jiaotong University,Xi'an.High-Precision Orientation Stage for Room-Temperature Imprint Lithography[J].China Mechanical Engineering,2004,15(1):75-78. |
| |
| Authors: | Yan Le Lu Binghen Ding Yucheng Liu Hongzhong Li Hansong Xi'an Jiaotong University Xi'an |
| |
| Affiliation: | Yan Le Lu Binghen Ding Yucheng Liu Hongzhong Li Hansong Xi'an Jiaotong University,Xi'an,710049 |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | imprint lithography high-precision orientation stage flexure mechanism precision |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
