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红外加热筒式外延炉—SiCl4减压外延

引用本文：	黄永高,毛志军.红外加热筒式外延炉—SiCl4减压外延[J].江南半导体通讯,1991,19(6):35-39.

作者姓名：	黄永高毛志军

摘要：
关键词：	红外加热外延炉 SiCl4 外延减压
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