IC封装无芯基板的发展与制造研究 |
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作者姓名: | 侯朝昭 邵远城 李茂源 胡雅婷 安兵 张云 |
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作者单位: | 华中科技大学材料学院,湖北武汉430074 |
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基金项目: | 国家自然科学基金项目(项目编号:60976076). |
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摘 要: | 手持电子产品的薄型化催生了IC封装无芯基板,它不仅比IC封装有芯基板更薄,而且电气性能更加优越。介绍了IC封装无芯基板的发展趋势和制造中面临的问题。IC封装无芯基板以半加成法制造,翘曲是目前制程中的首要问题。翘曲改善主要依靠改变绝缘层材料和积层结构,可用云纹干涉法进行量测,并以模拟为指导加快开发周期。
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关 键 词: | 无芯基板 IC封装基板 翘曲 半加成法 云纹干涉法 |
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