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IC封装无芯基板的发展与制造研究
作者姓名:侯朝昭  邵远城  李茂源  胡雅婷  安兵  张云
作者单位:华中科技大学材料学院,湖北武汉430074
基金项目:国家自然科学基金项目(项目编号:60976076).
摘    要:
手持电子产品的薄型化催生了IC封装无芯基板,它不仅比IC封装有芯基板更薄,而且电气性能更加优越。介绍了IC封装无芯基板的发展趋势和制造中面临的问题。IC封装无芯基板以半加成法制造,翘曲是目前制程中的首要问题。翘曲改善主要依靠改变绝缘层材料和积层结构,可用云纹干涉法进行量测,并以模拟为指导加快开发周期。

关 键 词:无芯基板  IC封装基板  翘曲  半加成法  云纹干涉法
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