| 分布式MEMS移相器电容开关时间响应特性研究 |
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| 引用本文： | 贺训军,吴群,金博识,殷景华.分布式MEMS移相器电容开关时间响应特性研究[J].固体电子学研究与进展,2007,27(4):550-552,582. |
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| 作者姓名： | 贺训军 吴群 金博识 殷景华 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院,哈尔滨,150001
2. 哈尔滨理工大学应用科学学院,哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家重点实验室基金 |
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| 摘 要： | 提出一种适合于分析微波分布式MEMS移相器静电驱动电容开关的开启时间和动态特性的新方法。采用IntelliSuite~(TM)模拟工具的SYNPLE模块研究材料、驱动电压、MEMS桥高度和共面波导信号线宽度对电容开启时间的影响。通过优化参数,分析结果表明:对于金电容开关,V=40 V、g_0=2.5μm和W=100μm,开关的开启时间为～7μs。
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| 关 键 词： | 微机电系统 电容开关 开启时间 分布式移相器 相控阵天线 |
| 文章编号： | 1000-3819（2007）04-550-03 |
| 收稿时间： | 2006-01-19 |
| 修稿时间： | 2006-05-08 |
Time Response Characteristic Investigation of the Capacitive Switches for Distributed MEMS Phase Shifters |
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| HE Xunjun,WU Qun,JIN Boshi,YIN Jinghua.Time Response Characteristic Investigation of the Capacitive Switches for Distributed MEMS Phase Shifters[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2007,27(4):550-552,582. |
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| Authors: | HE Xunjun WU Qun JIN Boshi YIN Jinghua |
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| Abstract: | In this paper,a novel method for the analysis of switching time and dynamic be- havior of the electrostatic driven RF MEMS capacitive switches applied to microwave distributed MEMS phase shifters is presented.The effects of the materials,the driven voltage,the air gap height,and the width of the CPW signal line on the switching time are investigated using the SYNPLE module of IntelliSuite~(TM) simulation tool.By the optimization of parameters,the results demonstrated that for Au MEMS capacitive switches,V=40 V,g_0=2.5μm,and W=100μm, the switching time of switches is～7μs. |
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| Keywords: | MEMS capacitive switches switching time distributed phase shifters phasedarray antennas |
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