| 多层弯曲磁微执行器的有限元分析 |
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| 引用本文： | 朱珂,黄庆安. 多层弯曲磁微执行器的有限元分析[J]. 固体电子学研究与进展, 2003, 23(3): 339-343 |
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| 作者姓名： | 朱珂 黄庆安 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 教育部科学与技术重点项目 (0 0 0 65 ) |
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| 摘 要： | 首先简单介绍了多层弯曲磁微执行器的工作原理 ,然后建立了有限元分析的模型 ,并对模型进行网格划分。再利用泊松方程结合已知的边界条件求出各节点的磁势 ,从而进一步求出了上极板的弯曲量。最后 ,将有限元模型的结果和 ANSYS分析结果进行了比较。这一模型可在设计该类执行器时使用
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| 关 键 词： | 多层弯曲磁微执行器 有限元 网格 泊松方程 |
| 文章编号： | 1000-3819(2003)03-339-05 |
| 修稿时间： | 2001-05-10 |
FEM Model Analysis of Magnetic Microactuator with a Multilevel Meander Magnetic Core |
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| Abstract: | The operation principle of magnetic microactuators with a multilevel is first in troduced. Then, a FEM model is developed and the lattice of the model is divided . The magnetic potential of every node is calculated from Poisson's equation and boundary conditions. According to the magnetic potential of the node, deflectio n of the cantilever beam has been calculated. Comparison of the simulation resul t of this model with ANSYS analysis is given. It is shown that the FEM model is satisfactory. |
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| Keywords: | magnetic microactuators finite element (FEM) lattice Poisson's equation |
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