纳米晶Ge颗粒镶嵌SiO2复合膜的多峰光致发光及其机理 |
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引用本文: | 许怀哲,陈光华.纳米晶Ge颗粒镶嵌SiO2复合膜的多峰光致发光及其机理[J].半导体学报,1997,18(6):417-423. |
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作者姓名: | 许怀哲 陈光华 |
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作者单位: | [1]中国科学技术大学研究生院物理部 [2]北京工业大学应用物理系 |
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摘 要: | 用射频共溅射和热退火处理的方法制备了纳米锗颗粒镶嵌SiO2复合薄膜,观察到了多峰的光致发光现象。发现随着激光光波长的增长,多峰发光谱的最强峰向低能方向移动,但是各子峰的位置不发生改变,而且不同样品的发光谱子峰位置非常一致,X射线光电子能谱分析显示膜中不存在纳米晶硅成分,表明多峰光致发光与镶嵌在SiO2复合中的纳米锗颗粒有关。
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关 键 词: | 纳米锗颗粒 二氧化硅 复合薄膜 多峰光致发光 |
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