激光烧蚀溅射Al靶产生的Al离子的空间角分布

分别测定了紫外激光烧蚀Ａｌ表面溅射Ａｌ正离子的总离子空间角分布和离子平动能分辨的离子空间角分布。对紫外激光烧蚀Ａｌ表面溅射产生的两组具有不同最可几率平动能离子,平动能较大的离子为垂直靶面前向散射,平动能较小的离子为余弦分布。本文还讨论了产生两种不同角分布的机理。