超精密平面磨削的微量进给及其控制研究

本文采用压电陶瓷作为控制元件，设计出一种能够对空气轴承实现０．０１μｍ的微量进给装置，并提出了导轨误差的神经网络补偿控制算法，实验结果及仿真研究证明了本方法的有效性。