|
|||||
|
|
| 磷砷化镓离子注入层的CW CO_2激光退火研究 | |
| 作者姓名： | 马景林 周瑞英 李国辉 阎凤章 |
| 作者单位： | 北京师范大学低能核物理研究所 (马景林,周瑞英,李国辉),北京师范大学低能核物理研究所(阎凤章) |
| 摘 要： | 本文对N、Zn离子注入GaAs_(1-x)Px材料之后,用连续CO_2激光束进行退火作了研究.晶格恢复、注入杂质的激活率和光致发光的实验测量结果表明,CO_2激光退火的效果优于常规热退火.本文对CO_2激光退火效果优于热退火的原因作了初步的解释. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |