| 基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计 |
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| 引用本文： | 张斌珍、,谢斌,薛晨阳,张文栋,陈尚.基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计[J].传感技术学报,2006,19(5):2283-2285. |
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| 作者姓名： | 张斌珍、 谢斌 薛晨阳 张文栋 陈尚 |
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| 作者单位： | 1. 北京理工大学机电工程学院,北京,100081;中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051
2. 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原,030051 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，山西省自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法.
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| 关 键 词： | 共振遂穿二极管振荡器 矢量水声传感器 GaAs微结构 纳机电器件 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2283-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Design of Vector Hydrophone Based on Resonant
Tunnelling Diodes |
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| ZHANG Bin-zhen,XIE Bin,XUE Chen-yang,ZHANG Wen-dong,CHEN Shang.Design of Vector Hydrophone Based on Resonant
Tunnelling Diodes[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2283-2285. |
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| Authors: | ZHANG Bin-zhen XIE Bin XUE Chen-yang ZHANG Wen-dong CHEN Shang |
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| Affiliation: | North University of China |
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| Abstract: | A novel digital vector hydrophone using resonant tunnelling diodes(RTD) is presented. The sensitive unit of this vector hydrophone is resonant tunneling diodes which are located on the edge of the pole of hydrophone. The output signal was achieved by subtracting the contrary frequency of the two oscillators based on RTD. The RTD oscillator, physical structures and fabrication process of vector hydrophone are designed, and the signal processing has been discussed. |
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| Keywords: | RTD oscillator Vector hydrophone GaAs microstructure NEMS |
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