| 激光振镜直写光栅误差分析及校正方法 |
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| 引用本文： | 任东旭,周梦园,牛奚,李彬.激光振镜直写光栅误差分析及校正方法[J].激光与红外,2023,53(12):1840-1845. |
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| 作者姓名： | 任东旭 周梦园 牛奚 李彬 |
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| 作者单位： | 中原工学院机电学院,机械工业光学传感与测试技术重点实验室,河南 郑州 451191 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金(No.51905558；No.51975599)资助。 |
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| 摘 要： | 针对振镜式激光直写光栅系统中存在的扫描畸变的问题,提出了一种内部转角优化和外部扫描误差补偿相结合的校正方法。以光栅栅距10μm为目标,建立了振镜系统的几何光学模型,对扫描误差进行了分析,然后对振镜转角进行了优化,进一步对振镜进行了曲线拟合补偿,坐标点(100,10)处误差从0936mm,1912mm降低到0148μm,00296μm。结果表明,这种方法能够满足振镜式激光直写光栅在短距离刻划的精度要求。
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| 关 键 词： | 激光直写 二维振镜 误差校正 曲线拟合 |
| 修稿时间： | 2023/4/10 0:00:00 |
Laser oscillator scanning grating error analysisand correction method |
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| REN Dong-xu,ZHOU Meng-yuan,NIU Xi,LI Bin.Laser oscillator scanning grating error analysisand correction method[J].Laser & Infrared,2023,53(12):1840-1845. |
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| Authors: | REN Dong-xu ZHOU Meng-yuan NIU Xi LI Bin |
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| Affiliation: | School of Mechatronics Engineering,Zhongyuan university of Technology,Key Laboratory of Optical Sensing and Testing Technology in the Mechanical Industry,Zhengzhou 451191,China |
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