|
|||||
|
|
| MOCVD微机控制系统 | |
| 引用本文： | 张季冬,罗锦.MOCVD微机控制系统[J].稀有金属,1993,17(2):155-156. |
| 作者姓名： | 张季冬 罗锦 |
| 作者单位： | 丹东电子研究所，中国科学院长春物理研究所，中国科学院长春物理研究所 118002 |
| 摘 要： | MOCVD 是当前研制新型光电材料的重要方法。本文的微机控制系统只需事先填好生长过程数据库,即可实现 MOCVD 法材料生长全过程的自动控制。MOCVD 的微机控制系统由两级组成,控制级由 IBM-PC 兼容机(主机)承担,执行级由单片机控制器与温度控制器组成。主 |
| 关 键 词： | MOCVD 计算机控制 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |