| 热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 杨鑫.热处理对湿法制备ITO薄膜性能的影响[J].金属热处理,2015,40(2):144-147. |
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| 作者姓名： | 杨鑫 |
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| 作者单位： | 天津大学 化工学院 绿色合成与转化教育部重点试验室 |
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| 基金项目： | 国家科技计划项目(2012BAF13B05) |
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| 摘 要： | 用湿法涂布的方式制备了ITO透明导电膜，考察了不同热处理条件对ITO薄膜性能的影响。结果表明，随着热处理温度的升高，ITO薄膜的导电性和透光性均逐渐增强；随着热处理时间的延长，ITO透明导电膜的电阻率表现出先增强后减弱的趋势，透光率随着热处理时间的延长而增强到某一程度后，继续延长热处理时间其透光率保持不变；真空环境有利于提高ITO透明导电膜的导电性。
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| 关 键 词： | ITO透明导电膜 湿法 热处理 导电性 透光性 |
Influence of heat treatment on properties of ITO films prepared by wet process |
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| Yang Xin.Influence of heat treatment on properties of ITO films prepared by wet process[J].Heat Treatment of Metals,2015,40(2):144-147. |
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| Authors: | Yang Xin |
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| Affiliation: | Key Laboratory for Green Chemical Technology of Ministry of Education, School of Chemical Engineering and Technology, Tianjin University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ITO film wet process heat treatment conductivity transmittance |
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