微电子器件冷却技术概说与进展

微电子领域是最早提出徽尺度流动和传热问题的工程领域。在具有微尺度的微电子领域中，当空间和时间尺度微细化后，出现了很多与常规尺度下不同的物理现象。而随着微电子技术的发展，电子器件的热流密度不断增加，这势必对电子器件有更高的散热（即冷却）要求，因此有效地解决散热问题已成为电子设备必须解决的关键技术。因此，鉴于微电子器件的冷却问题具有如此重大的意义，本文对此进行了一些简要介绍，包括其概说与进展。