|
|||||
|
|
| 比例差值谱技术在微尺度器件可靠性研究中的最新应用 | |
| 引用本文： | 纪志罡,许铭真,谭长华.比例差值谱技术在微尺度器件可靠性研究中的最新应用[J].中国集成电路,2006(1):65-70. |
| 作者姓名： | 纪志罡 许铭真 谭长华 |
| 作者单位： | 北京大学微电子学研究院 |
| 基金项目： | 国家基础研究九七三项目(编号G2000036503)的支持。 |
| 摘 要： | 本文应用比例差分(PDO,ProportionalDifferenceOperator)技术提出了一种新的表征微尺度MOS器件负偏置温度不稳定性(NegativeBiasTemperatureInstability,NBTI)的实验方法。和传统方法相比,这种新方法可以避免恢复效应对NBTI表征的影响。使用该方法,本文研究了不同直流应力电压和应力温度对NBTI退化的影响。 |
| 关 键 词： | MOS器件 微尺度 谱技术 可靠性研究 应用 比例 差值 NBTI 不稳定性 Bias |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |