| 一种高灵敏度在线式MEMS微波功率传感器 |
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| 作者姓名： | 金叶 王德波 |
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| 作者单位： | 南京邮电大学 电子与光学工程学院、柔性电子未来技术学院, 南京 210023 |
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| 基金项目： | 国家青年自然科学基金资助项目(61704086);中国博士后科学基金资助项目(2017M621692);江苏省博士后基金资助项目(1701131B);南京邮电大学国自基金孵化资助项目(NY215139,NY217039) |
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| 摘 要： | 为了改善在线式MEMS微波功率传感器的灵敏度特性,设计了一种新型双悬臂梁结构的MEMS微波功率传感器。该结构将测试电极和锚区设计在中心信号线的两侧。建立了双悬臂梁集总电路等效模型,研究了双悬臂梁结构的微波功率传感器的微波特性。构建了枢纽式双悬臂梁静力学模型,研究并分析了新型悬臂梁结构的过载功率与灵敏度。结果表明,相比于测试电极和锚区位于信号线同侧的传统单悬臂梁结构,新型双悬臂梁结构的灵敏度提升了6～8倍。这在一定程度上解决了电容式微波功率传感器检测灵敏度较低的问题。
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| 关 键 词： | 微波功率传感器 电容式 双悬臂梁结构 灵敏度 MEMS |
| 收稿时间： | 2022-09-02 |
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